高純鋁以及鋁合金靶材:
1、產品包括:Al、Al30ppmSi、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu等;
2、純度為4N~5N5;
3、不同的晶粒晶向滿足客戶的不同濺射需求;
4、能夠和客戶一起開發特制的各種類型長壽命靶材。
高純鈦靶材以及鈦環:
1、產品包括:4N5鈦、5N鈦、低氧鈦等;
2、不同的晶粒晶向滿足客戶的不同濺射需求;
3、能夠為客戶提供不同類型特制的長壽命靶材和環件。
高純銅、銅合金靶材以及銅環、銅陽極:
1、產品包括:4N銅、4N5銅、5N銅、6N銅以及銅鋁、銅錳等合金靶材、純銅以及CuP陽極材料、純銅的環件;
高純鉭、鉭合金靶材以及鉭環:
1、產品包括:3N5到5N的各種純度鉭靶材、鉭環以及各種壽命和規格的鉭靶材和鉭環;
2、提供鉭環的翻新服務,為客戶帶來成本的節約。
特殊金屬及合金靶材,產品包括:高純鎢、鎢鈦、鎢硅、高純硅、高純鎳、鎳合金、高純鉻及鉻合金、鈷靶材等。
G4.5、G5、G5.5、G6、G8.5、G10.5代超高純鋁、銅、鉬、鈦靶材;
PVD機臺用防著板、坩堝以及CFRP液晶玻璃搬運部件。
三、半導體用精密零部件
PVD機臺用Clamp Ring、Collimator;
CVD、etching機臺用face plate、shower head等;
化學機械研磨機臺用金剛石研磨片、Retaining Ring等。
江豐電子研發生產的超高純金屬濺射靶材,填補了中國在這一領域的空白,結束了產品依賴進口的歷史,滿足了國內企業不斷擴大的市場需求,成功獲得了國際一流芯片制造廠商的認證,并在世界先端的工藝實現批量供貨,打破了美、日跨國公司的壟斷格局,成為電子材料領域成功參與國際市場競爭的中國力量。目前江豐電子的銷售網絡覆蓋歐洲、北美及亞洲各地,產品客戶有臺積電、聯華電子、格羅方德、中芯國際、索尼、京東方、華星光電、SUNPOWER 等國內外知名半導體、平板顯示及太陽能電池制造企業。
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